高新麓谷2021年1月19日讯（朱莉 通讯员 褚兴科 王丽 ）星城长沙，高新麓谷，国内第一条碳化硅研发、生产全产业链产线正在此崛起。2021年1月19日，湖南三安半导体项目最大单体M2B芯片厂房顺利完成封顶，此次封顶标志着这座湖南省境内的首个第三代半导体产业园项目（一期）Ⅰ标段完成全面封顶，预计该项目在2021年中有望实现全面投产。

据了解，该项目分两期建设，当前项目一期由中建五局三公司负责施工建设,主要包含碳化硅长晶、衬底、外延、芯片、器件封装等厂房及相关配套设施建设，项目全面建成投产后将形成两条并行的碳化硅研发、生产全产业链产线，产品为高质量、低成本、高稳定性碳化硅衬底及各类器件，可广泛用于新能源汽车、高铁机车、航空航天和无线（5G）通讯等。

半导体由于其精密性，对环境洁净度、温湿度、振动、ESD(静电控制)、AMC(气态分子级污染物)等都有一定的要求，芯片生产车间对于生产环境的空气洁净度非常挑剔，就算是一粒小小的粉尘，粘在芯片上也可能造成短路，进而直接影响成品率。为了满足半导体制造工艺需求，生产车间必须达到洁净车间的标准。

“三安半导体项目建成后将服务于技术密集型半导体产业，对空气洁净度提出了很高要求。我们需要完成对空气洁净度有着高要求的7座单体，其中衬底、外延厂房提出了“千级”洁净度的要求，而芯片厂房更是提出了‘百级’洁净度的要求。”总包建设方中建五局三公司项目负责人周祥介绍说，所谓“百级”洁净，即每立方英尺的空气中≥0.5微米粒径的粒子数量不超过100个，堪比最高洁净等级手术室的标准。

记者了解到，洁净标准一般按照十级、百级、千级、万级、十万级、三十万级……划分，数值越小，代表净化级别越高。普通公共场所杀菌消毒可参照三十万级标准，医院ICU病房杀菌消毒参照十万级标准，而中建五局三公司承建的湖南三安半导体项目中M2B碳化硅芯片厂房为百级标准，对空气洁净度有着极高要求。

该项目技术负责人陆建臻介绍：“为保证无尘洁净室大面积生产车间的空气洁净度，我们需要做好华夫板（利用楼板内孔洞形成回风通道的楼板）高精度施工，建立洁净空调通风系统形成回风通道。为此，项目在施工过程中每一步都会进行严格的技术复核、严格的施工过程技术控制。”

据了解，芯片厂房华夫板厚度为70cm，可抗微震。华夫板面积为14100㎡，其中浇筑有35000个直径35cm的奇氏筒，相当于每2㎡就有5个用于换气的圆形孔洞，届时芯片产线将布置于华夫板之上，整个车间利用新风系统进气保证正压，并通过华夫板回风通道排气，以此保证车间洁净度。

据悉，该项目全部建成后预计可实现年产值120亿元以上，可直接提供4500个就业岗位，并带动上下游配套产业产值预计超1000亿，提供近10000个就业岗位。

近年来国家愈发重视第三代半导体、集成电路领域发展，国务院2020年8月份印发《新时期促进集成电路产业和软件产业高质量发展若干政策》，首次明确提出鼓励我国本土半导体材料和装备产业的发展，推动半导体行业加速发展。国家“十四五”规划也提出“要瞄准人工智能、量子信息、集成电路、生命健康、脑科学、生物育种、空天科技、深地深海等前沿领域，实施一批具有前瞻性、战略性的国家重大科技项目。”

该项目正是长沙高新区落实国家相关政策，实施“三高四新”战略的重要载体，凭借该项目完整的碳化硅产业链布局和强大的制造平台，将快速发展为具有自主知识产权、掌握核心技术与行业话语权、具有重要国际影响的碳化硅材料与器件产业生产基地。同时由于半导体产业链中，上游产业对于中、下游产业的放大效应十分明显，项目的实施，也必将推动湖南先进半导体产业的壮大，促进形成新的经济增长点，助力湖南在化合物半导体领域形成世界级领先地位。

2021年1月19日，国内首条碳化硅全产业生产线湖南三安半导体项目全面封顶。通讯员 供图

中建五局三公司三安半导体项目技术负责人陆建臻正向媒体记者介绍项目建设相关情况。朱莉 摄

建设人员正在楼顶进行最后一块屋面的混凝土浇筑。朱莉 摄

项目现场，建设人员正在认真的完成最后一项混凝土浇筑施工。朱莉 摄

面对重要的施工节点，建设人员怀着喜悦的心情合影留念。朱莉 摄

现场的泵车臂犹如一道彩虹，在迎接项目的全面封顶。朱莉 摄

三安半导体项目的厂房建设对空气洁净度要求极高，需达到百级甚至千级的洁净度要求。朱莉 摄

该项目建成后预计可实现年产值120亿元以上，可直接提供4500个就业岗位。朱莉 摄